OPTM series 嵌入型

產(chǎn)品簡介
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-09-16

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：623

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

光探測(cè)磁共振譜超快瞬態(tài)吸收拉曼光譜熒光光譜顯微缺陷膜厚半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀高光譜測(cè)試系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測(cè)器光響應(yīng)度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺(tái) 熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測(cè)試系統(tǒng) 漫反射率測(cè)試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)燈參考輻射定標(biāo) 電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

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顯微分光膜厚儀的智能化功能與操作體驗(yàn)

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產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

●膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

●膜厚值高重復(fù)精度

●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量

●最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖

OPTM series 嵌入型

測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像

OPTM series 嵌入型

適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型

上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。

上一個(gè)：Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300