Capability:

• Epi layer characterization
  -Dopant Profile-N(x)
  -Resistivity Profile-p(x)

• Gate metrology
  -Oxide thickness-EOT
  -Flatland, threshold voltage-V_FB,V_T
  Effective oxide charge-Q_EFF
  -Dielectric constant-k
  -Interface state density-Dit

• IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
  .Constant current modes
  -Leakage current-l_L
  -V_BDfor HMET
  -Field-to-breakdown-F_BD
  -K_SB, t_sb,Q_BD, V_max

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。